镀膜材料加热到一定温度时就会发生气化现象,也就是由固体状态或液体状态进入到气体状态,在真空条件下物质的蒸发比在常压下容易得多,所需的蒸发温度也大幅度下降,因此熔化蒸发时间可以缩短很多,蒸发效率明显地提高。
例如,在一个大气压下,铝必须加热到2400℃才能蒸发,但是如果在10-3Pa的真空条件下只要加热到847℃就可以大量蒸发。
常用材料的熔化与蒸发温度(蒸气压lPa)
常用材料的熔化与蒸发温度(蒸气压lPa)
| 材料名称 | 熔化温度/℃ | 蒸发温度/℃ |
| 铝 | 660 | 1272 |
| 铁 | 1535 | 1477 |
| 金 | 1063 | 1397 |
| 铟 | 157 | 957 |
| 镉 | 321 | 271 |
| 硅 | 1410 | 13 |
