MOM是使用用来连线的metal自然形成的，可以多层stack插指形成；
而MIM一般用两层位于TOP metal和Mn-1之间的薄铝或者用一层薄铝和Mn-1形成电容 MOM 是 fringe cap 为主
MIM 是平板 cap 为主
而MIM一般用两层位于TOP metal和Mn-1之间的薄铝或者用一层薄铝和Mn-1形成电容 MOM 是 fringe cap 为主
MIM 是平板 cap 为主
| MOM 是tsmc的说法： metal 可能任何工艺都有这个cap， MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap， 由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成， MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍 |