新型光源的光刻机及量子纠缠统治 2025-12-13 14:36阅读： http://blog.sina.cn/dpool/blog/u/5855661037 极紫外线、X射线都具有波粒二象性，都属于短波长光，因此能量极高，它俩是可以作为光刻机的光源使用的。可能X射线能量更高，散光性能更低，芯片产出量高，精度质量更好。如果再加持量子纠缠技术，生产出来的芯片质量更好、更统一，产量更高。其实某些波长的激光也能作为光刻机的光源使用。找找会有的。
