SuperViewW1白光干涉仪拼接功能怎么用

白光干涉仪的基本原理是通过不同的光学元件形成参考光路和探测光路，是利用干涉原理测量光程差，从而确定相关物理量的光学仪器。SuperViewW1白光干涉仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，然后通过一体化操作的测量分析软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，从而获得反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌3D测量。

测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
其中SuperViewW1白光干涉仪的拼接测量功能，能够针对样品的同一区域进行不同模式的检测。白光干涉仪拼接功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。