随着超精密加工技术的不断进步，各种微纳结构元件广泛应用于超材料、微电子、航空航天、环境能源、生物技术等领域。其中超精密3D显微测量技术是提升微纳制造技术发展水平的关键，中图仪器自主研发的白光干涉扫描和共聚焦3D显微形貌检测技术，广泛应用于涉足超精密加工领域的三维形貌检测与表面质量检测方案。其中，VT6000系列共聚焦显微镜，在结构复杂且反射率低的表面3D微观形貌重构与检测方面具有不俗的表现。
一、结构深、角度大
电子产品中一些光学薄膜表面存在一些特殊的微结构，这些结构表现为窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉仪在测量此类结构时，由于形貌陡峭、角度大，无法形成干涉条纹信号，或条纹宽度过窄而无法准确地解调出深度信息。VT6000系列共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，其依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。
一、结构深、角度大
电子产品中一些光学薄膜表面存在一些特殊的微结构，这些结构表现为窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉仪在测量此类结构时，由于形貌陡峭、角度大，无法形成干涉条纹信号，或条纹宽度过窄而无法准确地解调出深度信息。VT6000系列共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，其依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。