观测微观世界的利器!揭秘光学3D表面轮廓仪的三维显微成像技术
光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)利用白光干涉原理,以0.1nm分辨率精准捕捉物体的表面细节,实现三维显微成像测量,被广泛应用于材料学领域的研究和应用。
了解工作原理与技术
材料学领域中的光学3D表面轮廓仪,也被称为白光干涉仪,是利用白光干涉原理进行成像测量的仪器,是一种通过测量干涉光的干涉条纹来获取物体表面形貌的方法。
该仪器通过发射一束宽光谱的白光,并将其照射到被测物体表面,然后收集被物体反射的光线,形成一系列干涉条纹。干涉条纹的形态和分布与物体表面的高度和形状有关,通过分析这些干涉条纹,从而得到物体的三维形貌信息。

光学3D表面轮廓仪在测量中采用了自适应光学系统,提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能,可以根据被测物体的形状和表面特性,自动调节光路和光学参数,以达到最好的成像效果。这种自适应光学系统的应用,不仅可以减少成像过程中的误差和失真,还可以提高成像的分辨率和清晰度。
此外,针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperViewW光学3D表面轮廓仪的扩展型相移算法EPSI集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,自动滤除样品表面噪点,重建超光滑表面区域。
光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)利用白光干涉原理,以0.1nm分辨率精准捕捉物体的表面细节,实现三维显微成像测量,被广泛应用于材料学领域的研究和应用。
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材料学领域中的光学3D表面轮廓仪,也被称为白光干涉仪,是利用白光干涉原理进行成像测量的仪器,是一种通过测量干涉光的干涉条纹来获取物体表面形貌的方法。
该仪器通过发射一束宽光谱的白光,并将其照射到被测物体表面,然后收集被物体反射的光线,形成一系列干涉条纹。干涉条纹的形态和分布与物体表面的高度和形状有关,通过分析这些干涉条纹,从而得到物体的三维形貌信息。
光学3D表面轮廓仪在测量中采用了自适应光学系统,提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能,可以根据被测物体的形状和表面特性,自动调节光路和光学参数,以达到最好的成像效果。这种自适应光学系统的应用,不仅可以减少成像过程中的误差和失真,还可以提高成像的分辨率和清晰度。
此外,针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperViewW光学3D表面轮廓仪的扩展型相移算法EPSI集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,自动滤除样品表面噪点,重建超光滑表面区域。
