二次离子质谱（简称：SIMS）分化为静态二次离子质谱（S-SIMS）、动态二次离子质谱（D-SIMS）两种，通过扫描，可以得到化学成像、成分定性鉴定。二次离子质谱技术具有非常高的分辨率以及灵敏度，可对有机物进行元素的面分布，深度分布分析，所以被广泛地运用在生物医学的领域当中。
SIMS是利用具有一定能量的初级离子束轰击固体材料表面，再通过质谱分析检测被初级离子束溅射出的二次离子的质荷比，从而得到样品信息。如今应用在SIMS中最广泛的质谱检测器是飞行时间质谱仪（TOF），TOF-SIMS的分辨率可以达到5-10nm，微区分辨率达到100nm2，深度分辨率达到0.1-1nm，二次离子浓度灵敏度达到ppm级别。
TOF-SIMS以其各种优异的性能和特点被广泛地用于半导体行业，随着半导体硅晶片制程越来越小，SIMS逐渐成为分析半导体器件表面
SIMS是利用具有一定能量的初级离子束轰击固体材料表面，再通过质谱分析检测被初级离子束溅射出的二次离子的质荷比，从而得到样品信息。如今应用在SIMS中最广泛的质谱检测器是飞行时间质谱仪（TOF），TOF-SIMS的分辨率可以达到5-10nm，微区分辨率达到100nm2，深度分辨率达到0.1-1nm，二次离子浓度灵敏度达到ppm级别。
TOF-SIMS以其各种优异的性能和特点被广泛地用于半导体行业，随着半导体硅晶片制程越来越小，SIMS逐渐成为分析半导体器件表面
