球差校正扫描透射电子显微镜（STEM）数据处理步骤

球差校正扫描透射电子显微镜（STEM）数据处理步骤

扫描透射电子显微镜（STEM）是一种强大的显微分析技术，广泛应用于材料科学、生物学等领域。球差校正STEM技术的出现，进一步提高了STEM的分辨率和图像质量。掌握球差STEM数据处理步骤，有助于充分发挥这一技术的优势，为科学研究提供有力支持。在实际操作过程中，需注意细节处理，确保获得高质量的实验数据。

一、球差校正原理
球差是光学系统的一种像差，会导致图像分辨率降低。球差校正技术通过对光学系统进行优化，减小球差对图像质量的影响。球差校正STEM通过在探测器下方加入一个球差校正器，使电子束在通过样品时具有更高的平行度，从而提高图像分辨率。

二、球差STEM数据处理步骤
1. 数据采集
在球差校正STEM实验中，首先需要调整显微镜参数，确保获得高质量的原始数据。主要包括调整电子束流、工作距离、探测器角度等。数据采集过程中，需保持样品和光学系统的稳定。
2. 数据预处理
（1）对原始数据进行解包（