CVD金刚石是利用化学气相沉积(CVD)工艺制造的一种人造金刚石,具有更高的利用价值,同时随着技术的进步,可以工业化生产的尺寸也显著扩大,应用价值持续提升,应用领域也进一步拓展,目前已经被广泛应用电子器件、珠宝首饰、激光器、航天等多个领域。

(图片转自网络)
从技术工艺来看,目前,CVD单晶金刚石的主要制备方法包括微波等离子体CVD法(MPCVD)、直流等离子体CVD法、热丝CVD法(HFCVD)、燃烧火焰CVD法(CFCVD)等。其中我国开发程度最好的是热丝CVD金刚石设备技术,目前已经逐渐开始进行小规模产业化生产,技术水平也不逊于国际领先水平;但在MPCVD领域,中国的相关技术水平还较为落后,未来发展潜力巨大。
沃特塞恩微波源就是助推MPCVD领域发展的一个新型微波能量源,它凭借其优质的可靠性、稳定性、长寿命性能,已经大量替代磁控管在微波等离子体CVD法(MPCVD领域)的使用。
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从技术工艺来看,目前,CVD单晶金刚石的主要制备方法包括微波等离子体CVD法(MPCVD)、直流等离子体CVD法、热丝CVD法(HFCVD)、燃烧火焰CVD法(CFCVD)等。其中我国开发程度最好的是热丝CVD金刚石设备技术,目前已经逐渐开始进行小规模产业化生产,技术水平也不逊于国际领先水平;但在MPCVD领域,中国的相关技术水平还较为落后,未来发展潜力巨大。
沃特塞恩微波源就是助推MPCVD领域发展的一个新型微波能量源,它凭借其优质的可靠性、稳定性、长寿命性能,已经大量替代磁控管在微波等离子体CVD法(MPCVD领域)的使用。
