南齐永明七年(489年),明僧绍之子与智度禅师合作开凿三圣像以纪念明僧绍。梁大同六年(540年)三圣像佛龛上出现佛光,惊动齐梁贵族,于是纷纷前来凿石造像,从南朝齐永明二年至梁天监十年(484-511年)逐渐开凿而成。又据传,栖霞寺创建人僧绍曾梦见西岩壁上有如来佛光,于是立志在此凿造佛像。
他病故后,其子在南齐永明二年(484年)开始与僧智度禅师在西壁上凿佛龛,镌刻了三尊佛像,这三佛合称“西方三圣”,该殿也称“三圣殿”。所有佛像或五六尊一龛,或七八尊一室。佛像始有515尊,分凿于294个佛龛中,望之如峰房鸽舍,号称千佛崖。
后来,唐、宋、元、明各代相继在纱帽峰都有开凿,连南朝在内,共有700尊。佛像大者高数丈,小者仅盈尺。其中“大佛阁”为开凿时间最早、规模最大的一座石窟,凿于南齐永明七年(公元489年),正中无量寿佛坐像高达12米。
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