五、铸锭单晶的问题如何解决?
所有铸锭单晶中的问题,除开硅料和坩埚材料的质量问题外,都是在上面的晶体生长过程中产生的,要解决自然也要在晶体生长过程中来解决。而解决的手段只有两个:第一个,通过设备改造使设备在整个过程中能够满足铸锭单晶生长所需的所有的工艺条件;第二个,就是设计最优化的工艺使得在整个铸锭单晶生长过程中,单晶能够按照最佳质量方式生长,而多晶则不能形核生长,或者即便形核也使之消亡。多晶硅铸锭炉并不适合铸锭单晶的生长,在现有的铸锭炉型中,是无法通过工艺改变来满足理想的铸锭单晶生长条件的。但是,只要对热场进行更换和改造,是能够使多晶硅铸锭炉用来进行理想的铸锭单晶的,至于铸锭炉其它部分如炉体、电源、真空系统则不必改动。鉴于热场的更换本来也是定期要进行的,所以,这对于想进行铸锭单晶的厂家是个不错的消息,因为需要增加的额外设备投入并不算大。当然,改造并不是更换热场那么简单,需要进行重新设计,增加很多机构,打造适合铸锭单晶生长的完美热场,并制订最有力单晶生长的工艺和温度环境,才能保证适合铸锭单晶的工艺条件的满足。
目前很多铸锭厂家在G5、G6的炉型上进行铸锭单晶试验效果不理想,在G7、G8炉型上试验结果好些,就简单得出结论认为大炉型才适合搞铸锭单晶。这个说法有些道理,但不准确。他们之所以得出这个结论,是因为铸锭单晶目前的问题大多出在边缘,也就是AB区,而从G5到G8四种坩埚的ABC区占整个硅锭的比例见下表:
