颜色与薄膜厚度的关系:
当膜厚d=λ/4n(其中n为膜的折射率,λ为光在空气中的波长),具有增透膜作用,所以λ全透过,不反射(此时的d为增透膜最小厚度)。因此我们看到的薄膜颜色(反射光)就发生变化了。
最小厚度d 薄膜颜色
0.400μm 紫色
0.430μm 浅蓝色
0.470μm 蓝色
0.530μm 绿色
0.580μm 黄色
0.600μm 橙色
0.650μm 红色
我们一般用上式估算多晶硅薄膜的厚度,TiO2与Si的折射率不同,所以对应的颜色可能有变化
当膜厚d=λ/4n(其中n为膜的折射率,λ为光在空气中的波长),具有增透膜作用,所以λ全透过,不反射(此时的d为增透膜最小厚度)。因此我们看到的薄膜颜色(反射光)就发生变化了。
最小厚度d
0.400μm
0.430μm
0.470μm
0.530μm
0.580μm
0.600μm
0.650μm
我们一般用上式估算多晶硅薄膜的厚度,TiO2与Si的折射率不同,所以对应的颜色可能有变化
