什么是平面度?
平面度是指基片(被测对象)具有的宏观凹凸高度相对于理想平面的偏差。
什么是相对于理想平面的偏差?如何计算？
如果两个平面被认定为点对点的放在一起了，此时两个平面之间的距离就是被测平面相对于理想平面的凹凸起伏，是要检测的误差。
怎么给出从理想平面上的点到被测平面上的对应的点?
假定一开始被测平面没有误差，并在此被测平面和理想平面上打上网格，两平面上的网格的位置大小等完全一样的网格。
现在把被测平面弄出了小的凹凸。这样，被测平面上的网格也发生了凹凸起伏。任何这种凹凸变化都会发生拉伸挤压。那么，网格上的节点位置也会发生移动。这就是说，两个平面之间的对应的网格节点的对应关系发生了变化。理想平面上网格节点到被测平面上的点的对应，不是理想状态下的网格节点的对应，而是它们周围的点，属于近似的对应关系。
平面度是指基片(被测对象)具有的宏观凹凸高度相对于理想平面的偏差。
什么是相对于理想平面的偏差?如何计算？
如果两个平面被认定为点对点的放在一起了，此时两个平面之间的距离就是被测平面相对于理想平面的凹凸起伏，是要检测的误差。
怎么给出从理想平面上的点到被测平面上的对应的点?
假定一开始被测平面没有误差，并在此被测平面和理想平面上打上网格，两平面上的网格的位置大小等完全一样的网格。
现在把被测平面弄出了小的凹凸。这样，被测平面上的网格也发生了凹凸起伏。任何这种凹凸变化都会发生拉伸挤压。那么，网格上的节点位置也会发生移动。这就是说，两个平面之间的对应的网格节点的对应关系发生了变化。理想平面上网格节点到被测平面上的点的对应，不是理想状态下的网格节点的对应，而是它们周围的点，属于近似的对应关系。