4D动态激光干涉仪
激光干涉仪, 动态
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4D的动态干涉仪的出现，为干涉仪的应用带来了一场革命，一经推出，便在先进激光、空间光学、天文学等领域得到了迅速的应用，并获得多项荣誉，其中包括自2004年以来连续3年荣获的R&D100奖，2006年的美国航天局NASA的格达德奖。8 `2 g( v1 R. |
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2 Y+ U1 M) s; u5 j1 V【FizCam2000】采用短相干光源，可以控制干涉位置，即使测量平行平板表面，也不会出现前后表面的干涉图案。这种干涉仪对参考表面与被测表面之间的距离有一定的要求，不能大于400-2000mm。 但是参考表面可以放置到离干涉仪很远的位置，进行所谓的远场测量，比如大口径凸球面的测量。
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【FizCam3000】采用稳频HeNe激光，适合于长光程测量，除了动态特性外，与传统的菲索干涉仪在使用上没有区别，比较适合习惯于使用菲索干涉仪的用户。1 `7 N- [; Q* K; [! b
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) Y- E) M# L. }. e& e4 Q- Q泰曼-格林型干涉仪 PhaseCam系列
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. C2 t1 \; U- A$ S- M【PhaseCam4020】基本型的PhaseCam干涉仪，光源：632.8nm HeNe激光，可靠实用，可适用于多数场合。: I7 y/ e. p, w7 S1 R
【PhaseCam5030】基本特性与P4020型相似，在此基础上增加了光学变倍ZOOM3X，配有遥控控制箱；使用与P4020相同的镜头；支持扩展使用2Kx2K的CCD。0 j/ Q$ P; S$ O' g: k
【PhaseCamMW】多波长干涉仪，采用3个激光器，可以通过合波方式构成不同的等效波长，测量表面的形状误差可以从mm级到nm级；适用于复杂表面测量，如大口径表面的子镜拼接等。
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【ESPI】基于泰曼-格林形式的电子散斑干涉仪，适用于漫反射非光学表面的形变测量精密测量，比如太空镜碳纤维板的变形等。
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