（二）面向未来产业布局的新材料
01原子制造技术
原子制造技术是以原子水平的量子物理为基础、以原子级功能基元为核心，在物质极限层次开展的材料与器件的制造技术，将在逻辑、存储、传感、超导、催化、储能及光电等领域催生重大应用，显著促进多学科交叉融合和技术发展。未来将重点发展原子基元设计及其材料器件制造、分子基元设计及其微系统组装制造、基元系统及大规模器件制造、原子量子态精确控制及其器件制造、原子制造的前沿新理论与新概念。
02硅基多材料体系融合集成
硅基集成光电子器件/
模块的重要研究方向为：搭建硅与先进光电材料的混合集成工艺平台，充分发挥集成电路工艺的超大规模、超高精度制造特性，结合各类材料的光电特性优势，实现高性能混合光电集成芯片制备技术突破。
03碳纳米管微纳电子材料
碳纳米管载流子迁移率高，可应用于射频器件的制造，提高射频器件的截止频率和最大振荡频率，有望应用于空间通信、高速无线电链路、车辆雷达和芯片间通信应用领域的耦合纳米振荡器。
碳纳米管耐弯曲的特性使其可应用于柔性、透明电子设备的制造，推动显示设备性能提升。随着技术的进步，碳基半导体的应用场景将日益多元化，未来碳纳米管材料在微纳电子领域应用还需聚焦碳纳米管制备、器件稳定性、性能与集成度兼顾等问题，建立纳电子器件用碳纳米管材料标准、
01原子制造技术
原子制造技术是以原子水平的量子物理为基础、以原子级功能基元为核心，在物质极限层次开展的材料与器件的制造技术，将在逻辑、存储、传感、超导、催化、储能及光电等领域催生重大应用，显著促进多学科交叉融合和技术发展。未来将重点发展原子基元设计及其材料器件制造、分子基元设计及其微系统组装制造、基元系统及大规模器件制造、原子量子态精确控制及其器件制造、原子制造的前沿新理论与新概念。
02硅基多材料体系融合集成
硅基集成光电子器件
03碳纳米管微纳电子材料
碳纳米管载流子迁移率高，可应用于射频器件的制造，提高射频器件的截止频率和最大振荡频率，有望应用于空间通信、高速无线电链路、车辆雷达和芯片间通信应用领域的耦合纳米振荡器。
碳纳米管耐弯曲的特性使其可应用于柔性、透明电子设备的制造，推动显示设备性能提升。随着技术的进步，碳基半导体的应用场景将日益多元化，未来碳纳米管材料在微纳电子领域应用还需聚焦碳纳米管制备、器件稳定性、性能与集成度兼顾等问题，建立纳电子器件用碳纳米管材料标准、
