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EDS是对能量散射X射线谱的国际标准称谓，而EDX则是谱学。EDS的原理是电子束和样品作用，原子的电子发生跃迁，有能量差作为特征X射线放出。 XPS是X光电子能谱，是通过X射线的光子携带的能量给原子的电子能量电离，原子成为离子状态。 来源：shxie XPS是X-ray Photoelectron Spectroscopy（X光电子谱）的字头，由入射光子在物体表面激发出光电子谱。 EDX和EDS实际上都是X光谱，一回事儿，都是Energy dispersive X-ray Spectroscopy的缩写，看你如何取字头了。我的感觉，EDX多用于English，而EDS常见于American，但也不见得完全正确。 来源：TEM_ABC EDS能谱,能快速对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。可进行定量和定性分析. XPS的分析定量分析更精确,分析样品的厚度只有几纳米,适合表面元素分析. 来源：girlzhangqiang XPS是用Proton-induced X-ray Fluorescence（光致X荧光）的原理。入射X射线使样品原子芯电离从而产生特征X射线。 SEM-EDX分析也是通过特征X射线来分析 当作SEM-EDX分析的时候SEM实际上相当于一个 |