翘曲度（SORI）：自由无夹持晶片中位面与中位面基准平面之间的最大和最小距离的差值。中位面基准平面是由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的三个等距离点决定的平面。
蓝宝石衬底SORI值的测量，目前行业内比较通用的也是光波干涉方式（倾斜入射），常用的测量仪器也是NIDEX的FT-17和FT-900系列。
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翘曲度（SORI）：自由无夹持晶片中位面与中位面基准平面之间的最大和最小距离的差值。中位面基准平面是由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的三个等距离点决定的平面。
蓝宝石衬底SORI值的测量，目前行业内比较通用的也是光波干涉方式（倾斜入射），常用的测量仪器也是NIDEX的FT-17和FT-900系列。
SORI值测量时使用非吸着状态，以由最小二乘法算出的虚拟平面为测量的基准面，SORI值为全测量点的最大值与最小值的差：
SORI = | A | | B |
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