一、真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用气体的压力值来表示。
真空度单位:通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位。
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
托与帕的转换
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
用压力表示真空度是由历史上采用 U
型压力计测量真空所沿用下来的,这并不十分合理。
在一般真空系统中,通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学的物理量表示真空度,因此,真空度的测量仅仅归结于压力的测量。但应特别注意测量条件,测量的对象是在有限的容器内的静止(随机运动)、稳态、各向同性单一的中性气体。在这种情况下,麦克斯威速度分布、余弦散射定律和流体静力学压力概念(p = nkT,v= 1/4nc,p = ρgh)都比较符合客观实际,真空度的测量也比较简单容易。
根据真空度定义,真空度最好用分子密度n表示,而以压力表示真空度与此并不矛盾。测量压力时,一般气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律,即p = nkT成立。测量时气体温度T一定,所以气体压力p正比于分子密度n。也就是说,此时压力是分子密度的量度,所以可以用压力表示真空度。
在一般情况下,以压力表示真空度是流行、沿用的,但并不是唯一的,还可以用如下参数表示真空度:
在一般真空系统中,通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学的物理量表示真空度,因此,真空度的测量仅仅归结于压力的测量。但应特别注意测量条件,测量的对象是在有限的容器内的静止(随机运动)、稳态、各向同性单一的中性气体。在这种情况下,麦克斯威速度分布、余弦散射定律和流体静力学压力概念(p = nkT,v= 1/4nc,p = ρgh)都比较符合客观实际,真空度的测量也比较简单容易。
根据真空度定义,真空度最好用分子密度n表示,而以压力表示真空度与此并不矛盾。测量压力时,一般气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律,即p = nkT成立。测量时气体温度T一定,所以气体压力p正比于分子密度n。也就是说,此时压力是分子密度的量度,所以可以用压力表示真空度。
在一般情况下,以压力表示真空度是流行、沿用的,但并不是唯一的,还可以用如下参数表示真空度:
