GC特气柜(GasCabinet)和GR特气架(GasRack)的功能设计
2018-03-22 17:13阅读:
GC特气柜(Gas
Cabinet)和GR特气架(Gas
Rack)的功能设计
特气柜Gas Cabinet是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统,按类别可分为:全自动、半自动和手动操作。基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时)。
全自动气柜通过采用PLC控制,触控屏为人机界面,通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。下面由沃飞科技为大家简单介绍一下GC特气柜(Gas Cabinet)和GR特气架(Gas Rack)的功能设计。
特气柜Gas Cabinet是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统,按类别可分为:全自动、半自动和手动操作。基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时)。
全自动气柜通过采用PLC控制,触控屏为人机界面,通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。下面由沃飞科技为大家简单介绍一下GC特气柜(Gas Cabinet)和GR特气架(Gas Rack)的功能设计。
