射频电源使用过程中反射功率过大怎么办? 2012-10-30 17:16阅读： http://blog.sina.cn/dpool/blog/u/2528214204 一般情况下有如下三个原因： a、检查RF射频电源和射频自动匹配器以及等离子体腔体之间的射频连接接头是否接紧；或更换射频同轴电缆和接头检查是否坏损。 b、初次使用可能是等离子体腔体的阻抗不在射频自动匹配器的阻抗范围内，建议先将射频自动匹配器的工作模式设定为手动匹配模式进行匹配。 c、匹配器故障。
