高真空卷绕镀膜机图纸
2013-11-11 14:50阅读：
高真空卷绕镀膜机
一、设备用途及特点：
本系列设备具有运行平稳、收放镀膜平齐、膜层均匀、生产周期短、能耗低、操作维护方便、性能稳定等特点。
利用磁控溅射卷绕镀膜，可实现在多种柔性基材上的真空卷绕镀膜，如各种棉纺织品、化纤布、无尘布、矿物纤维布或其他柔性复合卷材等表面制备的导电薄膜，金属化织物。可用作电磁屏蔽或除静电材料。或用于制备包装膜，电子膜，ITO薄膜，汽车贴膜，建筑贴膜等多种功能性薄膜。
1、高真空分子泵真空系统：极限真空(空载、干燥、洁净):优于
2.0×10-4Pa
2、恢复真空时间:从大气抽到
4×10-1pa优于15min
4、最大卷径：F400mm
，基膜宽度800mm
，溅镀有效宽度800mm。
5、常用镀膜速度：1～20m/min
动态数字显示速度
6、卷绕张力20～100N可调
7、配有矩形磁控溅射靶
3
套，（其中：中频靶2只、射频靶1只）磁控电源
2 套，镀膜效率高，膜层均匀性好。镀层均匀性±10%
8、卷饶系统采用高精度交流变频调速，具有运行平稳、速度高、对原卷材不划伤，收卷端面整齐等特点；卷绕方式：可实现正、反转功能。
9、张力控制采用数字张力控制系统，具有张力、线速度恒定，动作快速的特点；
10、采用自动/手动逻辑控制系统，方便工艺摸索、操作灵活。
11、溅镀区域：整个膜宽度范围（溅射辊水冷）
12、真空室配有镀膜辊（载冷剂442溶液），防止镀膜过程中样品因温度过高而变形或损坏。
13、充气采用质量流量计控制。
14、整机结构紧凑、抽真空速度快、能耗低、产能大、设备性能稳定、操作方便等优点。
15、设备配有条形离子清洗源，在镀膜过程同时实现在线离子清洗，有效的改善了被镀工件的浸润性、增加了薄膜的附着力，避免了镀膜工件带静电而造成易造成的崩膜，还可以有效的避免镀膜工件针孔的出现，大大提高了镀膜质量。
16、采用远红外在线测试装置。
17、采用进口监控摄像头，对工件卷绕情况进行时时监视和控制。
18、PLC控制，
PLC加触摸屏。
19、断膜紧急保护
20、冷却系统自动控制
21、适应基材及厚度：纤维、薄膜材，10～300μm
22、卷芯材料：金属、塑料或高强度纸
23、溅镀方式：单面
24、防返油分子筛过滤器一只
二、设备性能技术指标
2.1
卧式真空室不锈钢材质，真空室配有放卷辊、收卷辊、张力辊、导向辊、镀膜辊等组成；收卷辊、放卷辊、水冷辊各由一台电动机驱动；真空室侧面配3套观察窗，方便镀膜后的各种检测；真空室门装在移动小车上，收/放卷辊采用气胀轴方便装/卸料。
2.2
矩形磁控溅射靶
3
套，强磁带有水冷式，可同时镀膜，实现纤维全覆盖，配备大功率电源，镀膜效率高，膜层均匀性好
；三只靶位置分布见附图.
2.3
膜卷均匀区尺寸：一次放进纤维卷一卷，均匀全覆盖。
2.4
真空系统：两台分子泵为主泵和阀门、真空管道及波纹管、机械真空泵（前级泵）等组成高真空抽气系统，可获得（10-2~10-4Pa）的工作真空度。
2.5
气路系统：3
路
气体质量流量控制器
工作气体高纯Ar、N2 99.9%
量程
：1000SCCM/500SCCM
七星华创
2台
电磁截止阀、混气室及其他不锈钢管路等；
2.6
水冷系统：
全套循环水能系统
进、出水路分配、管路及球阀
水压控制及检测、报警系统
冷却循环水机：AC-3
2.7
控制系统：手动、自动逻辑控制系统。
主要控制：真空机组、真空显示、转速控制、进气、水冷报警报警系统等。
2.8
其他辅助系统：
机架及电控柜、总供电及控制、电缆等
3﹑设备工作环境
3.1 供电：三相四线
AC380V，配制 50KW
以上的三相四线制供电线路到达设备现场。
3.2
实验室要有独立地线：＜3W，从设备到地线连接建议采用³10mm2的扁平铜线；
3.3
供水：流量³10L/min，水温£25℃；（已经配有循环水机）
3.4
磁控溅射需要的高纯氩气、一瓶；
3.5
室内相对湿度：＜75%；室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；
3.6 设备占地面积：长×宽×高
5000mm×4500mm×3000mm。
4﹑设备主要配置
序号
|
|
部件名称
|
参数
|
数量
|
生产厂家
|
1
|
真空室
|
真空室
|
卧式真空室不锈钢材质
|
1套
|
|
镀膜辊
|
Φ400mm
普冷
|
1
|
收、放卷辊
|
采用气胀轴便于安装
|
2
|
张力辊
|
Φ100mm
|
2
|
导向辊
|
Φ80mm
|
6
|
2
|
卷绕系统
|
卷绕电机系统
|
交流变频调速电机，减速器等
|
1套
|
外购
|
同步带轮传动
|
|
1套
|
外购
|
收放卷传动系统
|
恒张力、恒线速度控制
|
2套
|
|
3
|
真空机组
|
分子泵
|
F400/3500
|
2台
|
北京
|
罗茨泵
|
RTO.600S
|
1台
|
上海
|
机械泵
|
2X-70
|
2台
|
成都
|
维持泵
|
2X-30
|
1台
|
成都 |
