许多工厂都增加了真空泵系统，但我们不知道如何操作真空系统检漏。今天我们将介绍定义和方法。
一、泄漏率的定义和单位
对于容积为v的容器，单位时间内压力变化δP与容器容积v的乘积为泄漏率:
q=V *δP/δt
常见的泄漏速率单位为: pa.m/s、mbar.l/s、torr.l/s
泄漏率实际上反映了一定时间内泄漏气体分子的数量。严格地说，一个没有泄漏的系统不是
有。泄漏检测的目的是将泄漏率控制在可接受的水平，而不影响系统的正常运行。
(1)气泡法检漏
将压制好的试件浸入水箱中或使用肥皂泡法。气泡可以反映泄漏率。这种方法通常用于检测一些小物品。例如，工艺气瓶泄漏检测、配气盘泄漏检测、磁控靶泄漏检测、弧源水冷座泄漏检测、真空室水冷套泄漏检测等。虽然不能定量检测
一、泄漏率的定义和单位
对于容积为v的容器，单位时间内压力变化δP与容器容积v的乘积为泄漏率:
q=V *δP/δt
常见的泄漏速率单位为: pa.m/s、mbar.l/s、torr.l/s
泄漏率实际上反映了一定时间内泄漏气体分子的数量。严格地说，一个没有泄漏的系统不是
有。泄漏检测的目的是将泄漏率控制在可接受的水平，而不影响系统的正常运行。
几种真空系统泄漏检测方法及应用
(1)气泡法检漏
将压制好的试件浸入水箱中或使用肥皂泡法。气泡可以反映泄漏率。这种方法通常用于检测一些小物品。例如，工艺气瓶泄漏检测、配气盘泄漏检测、磁控靶泄漏检测、弧源水冷座泄漏检测、真空室水冷套泄漏检测等。虽然不能定量检测