清华大学•机械工程系官网2023.10.19发表，2023.10.20编辑。
近日，清华大学机械工程系在基于胶体自组装的微纳制造领域取得重要进展。
微球光刻（SLPL）技术是在传统光刻的基础上，使用自组装微球膜代替掩膜，利用微球的光学效应实现亚波长尺度特征的制备工艺。与传统的掩膜光刻方法相比，它具有成本效益高和易于实现等优点，并凭借低成本、高通量、易实现和高精度的优势获得越来越多的关注。然而，微球光刻技术主要用于产生简单的图案形状，比如圆形阵列。尽管已有许多文献报道单次曝光就可以形成复杂图案，但是一直长期缺乏系统性的理论分析，尤其是对可以实现的多种非圆形状的可实现性的预测分析。同时，微球光刻技术的数值仿真存在条件繁多和分析困难的问题，难以直接从仿真结果中得到指导性的结论。
微球光刻（SLPL）技术是在传统光刻的基础上，使用自组装微球膜代替掩膜，利用微球的光学效应实现亚波长尺度特征的制备工艺。与传统的掩膜光刻方法相比，它具有成本效益高和易于实现等优点，并凭借低成本、高通量、易实现和高精度的优势获得越来越多的关注。然而，微球光刻技术主要用于产生简单的图案形状，比如圆形阵列。尽管已有许多文献报道单次曝光就可以形成复杂图案，但是一直长期缺乏系统性的理论分析，尤其是对可以实现的多种非圆形状的可实现性的预测分析。同时，微球光刻技术的数值仿真存在条件繁多和分析困难的问题，难以直接从仿真结果中得到指导性的结论。