今天（2025.06.20）上午，我国自己的第一条EUV（极紫光）光刻机已经在东莞松山湖厂区进行紧锣密鼓的调试！而且高水平的调通！整体良率达到70%以上。从去年到现在几千工程师们用了八个月时间将全部国产的核心光源，精密光学超高度精确控制，真空环境等世界性技术完成组装调试调机。
今天（2025.06.20）早上的调试成功，不仅仅只是从实验室走向工业应用，更为我国高品质芯片大量生产铺平道路！
今天（2025.06.20）早上的调试成功，不仅仅只是从实验室走向工业应用，更为我国高品质芯片大量生产铺平道路！