电子洁净厂房建筑防微振特点结构设计
防微振特点：随着现代科技的高速发展，对材料的纯度、产品的精度及可靠性也提出更高的要求。超微细加工、装配和测试，对诸如空气洁净、防微振、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求，使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。控制微振动即防微振，是环境控制的一个重要组成部分。在微电子工业领域，硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求极为严格，其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制等都要对微振动进行控制。在精密设备仪器微振动控制值确定后，电子洁净厂房的防微振控制通常采用以下两种方式:厂区选址在厂址选择或已建工厂内的洁净厂区场地选择的过程中，需要对周围振源的振动影响做出评价，以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对有防微振要求的设备、仪器或产品生产过程的振动影响，是若干单个振源振动的叠加结果；这种叠加目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法，因此应立足于实测。实测各类振源振动的影响评价是十分重要的，它是拟选择的洁净厂房的厂址或场地是否合适或是否需采取必要的防微振措施以确保将振源的振动影响控制在允许的范围内。一般来说，厂址选择应考虑如下原则:厂区远离铁路、公路干道、码头、机场，并选择环境振动较小的区域。在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定、土层密实、地下水位变化较小的地区，合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然条件，减少环境振动对厂区及洁结净厂房的影响。
防微振特点：随着现代科技的高速发展，对材料的纯度、产品的精度及可靠性也提出更高的要求。超微细加工、装配和测试，对诸如空气洁净、防微振、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求，使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。控制微振动即防微振，是环境控制的一个重要组成部分。在微电子工业领域，硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求极为严格，其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制等都要对微振动进行控制。在精密设备仪器微振动控制值确定后，电子洁净厂房的防微振控制通常采用以下两种方式:厂区选址在厂址选择或已建工厂内的洁净厂区场地选择的过程中，需要对周围振源的振动影响做出评价，以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对有防微振要求的设备、仪器或产品生产过程的振动影响，是若干单个振源振动的叠加结果；这种叠加目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法，因此应立足于实测。实测各类振源振动的影响评价是十分重要的，它是拟选择的洁净厂房的厂址或场地是否合适或是否需采取必要的防微振措施以确保将振源的振动影响控制在允许的范围内。一般来说，厂址选择应考虑如下原则:厂区远离铁路、公路干道、码头、机场，并选择环境振动较小的区域。在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定、土层密实、地下水位变化较小的地区，合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然条件，减少环境振动对厂区及洁结净厂房的影响。